[发明专利]一种五自由度外差光栅干涉测量系统

摘要

本发明为一种五自由度外差光栅干涉测量系统，包括单频激光器、声光调制器，单频激光器出射单频激光，所述单频激光经光纤耦合、分束后入射至声光调制器得到两路不同频率的线偏振光，一路作为参考光，一路作为测量光；干涉仪镜组和测量光栅，用于将参考光和测量光形成测量干涉信号和补偿干涉信号；多束光纤束，分别接收所述测量干涉信号和补偿干涉信号，每束光纤束中有多根多模光纤，分别接收同一平面上不同位置处的信号。该测量系统具有测量精度高、测量范围大、对温漂不敏感、整体尺寸小等优点，可用作光刻机超精密工件台位置测量系统。

主权项

1.一种五自由度外差光栅干涉测量系统，其特征在于：包括单频激光器(1)、声光调制器(2)，所述单频激光器(1)出射单频激光，所述单频激光经光纤耦合、分束后入射至声光调制器(2)得到两路不同频率的线偏振光，一路作为参考光，一路作为测量光；干涉仪镜组(3)和测量光栅(4)，用于将所述参考光和测量光形成测量干涉信号和补偿干涉信号；多束光纤束(5)，分别接收所述测量干涉信号和补偿干涉信号，每束光纤束(5)中有多根多模光纤，分别接收同一平面上不同位置处的信号；所述干涉仪镜组(3)包括分光棱镜(31)、直角棱镜(32)、1/4波片(33)、折光元件(34)、反射镜(35)、偏振分光镜(36)。