[发明专利]一种针对宏微运动平台的视觉检测装置及方法有效
| 申请号： | 201811066852.5 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN109239068B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 闫鹏;张庆怡 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 赵敏玲 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种针对宏微运动平台的视觉检测装置及方法，它解决了现有技术中不能同时满足宏微运动平台高精度和大行程检测的问题，通过设置调节平台，能够使微动平台始终处于显微镜的视野范围之内，提高检测精度；其技术方案为：包括作为支撑的气浮平台，气浮平台上方通过调节平台安装宏微运动平台，调节平台一侧固定有配置CCD相机的显微镜，所述显微镜的物镜对应于宏微运动平台的上方；通过控制调节平台的运动补偿宏动平台的运动，使微动平台始终位于显微镜的视野范围之内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 针对 运动 平台 视觉 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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