[发明专利]微型湿度传感器在审
| 申请号： | 201811069136.2 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN108896612A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 傅剑宇;刘瑞文;侯影;魏德波;刘超;王玮冰;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 张瑾 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微型湿度传感器，涉及微机电系统技术领域。所述微型湿度传感器包括：敏感结构、支撑层、悬臂梁、信号线、框架和衬底；其中，所述框架固定在衬底上；所述支撑层通过悬臂梁与框架连接；所述敏感结构固定在支撑层上；所述信号线与敏感结构连接，并固定在悬臂梁上。本发明提供的微型湿度传感器结构简单、易于加工，且能够加快响应速度，减小湿滞回差，缩小器件体积。 | ||
| 搜索关键词： | 微型湿度传感器 敏感结构 悬臂梁 支撑层 信号线 衬底 微机电系统技术 框架连接 回差 减小 响应 加工 | ||
【主权项】：
1.一种微型湿度传感器，其特征在于，包括：敏感结构、支撑层、悬臂梁、信号线、框架和衬底；其中，所述框架固定在衬底上；所述支撑层通过悬臂梁与框架连接；所述敏感结构固定在支撑层上；所述信号线与敏感结构连接，并固定在悬臂梁上。
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