[发明专利]一种曝光方法及其曝光装置有效
| 申请号： | 201811071348.4 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN109116685B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 倪伟 | 申请（专利权）人： | 重庆惠科金渝光电科技有限公司;惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 401320 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曝光方法及其曝光装置，该曝光方法包括步骤：确认待曝光点在待曝光区域中的位置；进行待曝光点抓取，并确认待曝光点抓取成功；对应抓取成功的待曝光点调整光源至适配位置；曝光机完成曝光操作。本发明能够减少曝光机的工作的节拍时间和提升产出产品的对位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种曝光方法，其特征在于，包括步骤：确认待曝光点在待曝光区域中的位置；进行待曝光点抓取，并确认待曝光点抓取成功；对应抓取成功的待曝光点调整光源至适配位置；曝光机使用曝光光罩完成曝光操作。
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