[发明专利]一种位置测量传感器和位置测量系统有效
| 申请号： | 201811073309.8 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN109099841B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 薛金来;聂婷;毕国玲;梁怀丹;张星祥;陈长征 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01C1/00 |
| 代理公司： | 44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种位置测量传感器包括第一框架、第一PSD探测器、第一激光器和半反半透分束镜，所述第一PSD探测器、所述第一激光器和所述半反半透分束镜均设置在所述第一框架上，所述半反半透分束镜位于所述第一PSD探测器的前端，射向所述第一PSD探测器的激光，一部分透过所述半反半透分束镜射向所述第一PSD探测器，另一部分被所述半反半透分束镜反射出去；本发明还提供了一种基于上述位置测量传感器的位置测量系统，能够实现非接触、高精度实时测量。 | ||
| 搜索关键词： | 半反半透分束镜 位置测量传感器 位置测量系统 激光器 实时测量 非接触 反射 激光 | ||
【主权项】：
1.一种位置测量系统，其特征在于，包括第一基座和第二基座，所述第一基座上设置有位置测量传感器，所述位置测量传感器，包括第一框架、第一PSD探测器、第一激光器和半反半透分束镜，所述第一PSD探测器、所述第一激光器和所述半反半透分束镜均设置在所述第一框架上，所述半反半透分束镜位于所述第一PSD探测器的前端，射向所述第一PSD探测器的激光，一部分透过所述半反半透分束镜射向所述第一PSD探测器，另一部分被所述半反半透分束镜反射出去；/n所述第一框架安装在所述第一基座上，所述第二基座上安装有第二框架和第三框架，所述第二框架上设置有与第一PSD探测器对应的第二激光器和与所述第一激光器对应的第二PSD探测器，所述第三框架上设置有第三PSD探测器；所述第二激光器发出射向第一PSD探测器的第二激光，所述第一激光器发出射向第二PSD探测器的第一激光，所述第二PSD探测器接收所述第一激光，所述第二激光的一部分透过所述半反半透分束镜射向所述第一PSD探测器并被所述第一PSD探测器接收，所述第二激光的另一部分被所述半反半透分束镜反射并射向第三PSD探测器，所述第三PSD探测器接收被所述半反半透分束镜反射的第二激光；/n所述第一PSD探测器表面设置有第一窄带滤波片。/n
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