[发明专利]光束扫描装置及光束扫描方法有效
| 申请号： | 201811074083.3 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN109212748B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B26/12 | 分类号： | G02B26/12;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种图案描绘装置，通过激光的扫描点在被照射体上描绘出规定的图案，具备：光源装置(14)，其射出上述激光；多个描绘单元(U1～U6)，其用于入射上述激光来生成上述扫描点，包含用上述激光进行扫描的光扫描部件和光学透镜系统，并设置成使上述扫描点在上述被照射体上的不同区域进行扫描；和多个选择用光学元件(50、58、66)，其为了对是否使来自上述光源装置的上述激光向上述多个描绘单元中的被选择的上述描绘单元入射进行切换，而沿着来自上述光源装置的上述激光的行进方向直列地配置。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 扫描 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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