[发明专利]一种角度位移测量装置及其测量方法

摘要

本申请公开了一种角度位移测量装置及其测量方法，该装置包括：点光源，用于提供球面光线；标定光栅，位于所述点光源上方，用于接收所述球面光线的照射，形成放大的光学投影；图像传感器，位于所述标定光栅上方，用于接收来自所述标定光栅的光学投影，获取所述光学投影的图案数据；数据处理电路，与所述图像传感器连接，用于识别所述图案数据并进行细分和译码，计算出所述标定光栅的角度位移值。本申请采用图像处理算法实现对标定光栅图案的识别，能够大大地提高角位移的测量分辨率，能够较传统角位移测量技术更容易实现高分辨率角位移测量，尤其是在小尺寸的装置中更易实现。