[发明专利]改善柔性基板毛刺的方法有效
| 申请号： | 201811074790.2 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN109343262B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 柳发霖;董思娜;方翠怡;李林 | 申请（专利权）人： | 信利半导体有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 潘霞 |
| 地址： | 516600 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种改善柔性基板毛刺的方法，用于削减或消除柔性基板预切割后于切割口处产生的毛刺，采用干法刻蚀削减或消除所述毛刺。经过验证发现，在预切割后，柔性基板的其中一侧面于切割口处会形成毛刺，该毛刺可以通过干法刻蚀制程处理，来降低毛刺的高度，甚至消除毛刺，使柔性基板可以满足后续工序的板面平整的要求，在很大程度上提高柔性基板的良品率，以及后续工序的良率，进而提高了生产效益。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 柔性 毛刺 方法 | ||
【主权项】：
1.一种改善柔性基板毛刺的方法，用于削减或消除柔性基板预切割后于切割口处产生的毛刺，其特征在于，采用干法刻蚀削减或消除所述毛刺。
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