[发明专利]一种硅片切割硅泥回收利用工艺在审
申请号: | 201811076390.5 | 申请日: | 2018-09-14 |
公开(公告)号: | CN109205626A | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
发明(设计)人: | 冉祎;魏强;袁中华;陈井建;廖元 | 申请(专利权)人: | 四川永祥多晶硅有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037;C01B33/025 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王学强;罗满 |
地址: | 614800 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开一种硅片切割硅泥回收利用工艺,包括:干燥:去除硅泥中的水和第一杂质,得到包含有硅粉的第一混合物;熔融:将第一混合物送入熔炼炉加热熔炼,所述硅粉熔融得到包含有二氧化硅杂质的硅液;还原:向所述熔炼炉中加入碳粉,所述硅液中的所述二氧化硅杂质与碳粉反应,得到纯度大于98%的硅液;冷却:所述硅液冷却形成硅块,按重量计,所述硅泥包括:第一杂质2.8‑9份,水40‑50份,硅粉25‑50份,二氧化硅杂质1.1‑3份。本申请所公开的回收工艺能够回收硅片切割的废硅粉,消除了有机物杂质对硅粉纯度的影响,具有硅粉回收率高、节能环保的优点。 | ||
搜索关键词: | 硅粉 硅泥 硅液 二氧化硅杂质 硅片切割 第一混合物 回收利用 熔炼炉 熔融 碳粉 冷却 有机物杂质 回收工艺 节能环保 重量计 熔炼 废硅 硅块 去除 回收率 加热 还原 送入 回收 申请 | ||
【主权项】:
1.一种硅片切割硅泥回收利用工艺,其特征在于,包括:干燥:去除硅泥中的水和第一杂质,得到包含有硅粉的第一混合物;熔融:将第一混合物送入熔炼炉加热熔炼,所述硅粉熔融得到包含有二氧化硅杂质的硅液;还原:向所述熔炼炉中加入碳粉,所述硅液中的所述二氧化硅杂质与碳粉反应,得到纯度大于98%的硅液;冷却:将所述硅液冷却形成硅块。按重量计,所述硅泥包括:第一杂质2.8‑9份,水40‑50份,硅粉25‑50份,二氧化硅杂质1.1‑3份。
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