[发明专利]用于制造薄过滤膜的方法以及包括过滤膜的声学换能器装置

摘要

本文提供了用于制造薄过滤膜的方法以及包括过滤膜的声学换能器装置。一种制造过滤模块的方法，其包括以下步骤：形成多层体，其包括半导体材料的并且具有小于10μm的厚度的过滤层、耦合到过滤层的第一侧的第一结构层、以及耦合到过滤层的与第一侧相对的第二侧的第二结构层；在第一结构层中形成凹部，该凹部在其整个厚度上延伸；去除过滤层的通过凹部暴露的选择性部分，以形成多个开口，这些开口在过滤层的整个厚度上延伸；以及完全去除第二结构层以流体地连接过滤层的第一侧和第二侧，从而形成设计用于限制污染颗粒通过的过滤膜。

主权项

1.一种用于制造过滤模块的方法，所述方法包括：形成多层体，所述多层体包括：过滤层，所述过滤层为半导体材料并且具有小于10μm的厚度，第一结构层，在所述过滤层的第一侧处，以及第二结构层，在所述过滤层的第二侧处，所述第二侧与所述第一侧相对；在所述第一结构层中形成贯通开口；去除所述过滤层的选择性部分以形成多个贯通开口；以及去除所述第二结构层以流体地耦合所述过滤层的所述第一侧和所述第二侧，从而形成过滤膜，所述过滤膜配置为限制阈值尺寸以上的污染颗粒的通过。