[发明专利]一种Y型228nm激光发射装置在审

专利信息
申请号: 201811077064.6 申请日: 2018-09-15
公开(公告)号: CN109142300A 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 李再金;李林;赵志斌;曾丽娜;曲轶;彭鸿雁 申请(专利权)人: 海南师范大学
主分类号: G01N21/64 分类号: G01N21/64
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 571158 *** 国省代码: 海南;46
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摘要: 发明公开了一种Y型228nm激光发射装置,包括808nm半导体激光器;前后面镀808nm增透膜的聚焦镜;前面镀914nm高反膜,808nm、1064nm和1342nm增透膜,后面镀914nm高反膜,1064nm和1342nm增透膜的Nd:YVO4;前面镀入射角为15°时914nm高反膜,457nm、1064nm和1342 nm增透膜,后面镀入射角为15°时228nm高反膜,457nm增透膜的平面镜;前后面镀457nm和914nm增透膜的LBO;凹面镀457nm和914nm高反膜的平凹镜;前后面镀228nm和457nm增透膜的BBO;凹面镀457nm高反膜、228nm增透膜,平面镀228nm高反膜的平凹镜;中心波长为228nm±5nm滤光片。该装置实现了228nm激光发射。
搜索关键词: 增透膜 高反膜 前后面 激光发射装置 平凹镜 入射角 凹面 激光发射 中心波长 装置实现 聚焦镜 滤光片 平面镀 平面镜
【主权项】:
1.一种Y型228nm激光发射装置,其特征在于,包括:808nm半导体激光器;808nm聚焦镜;前表面镀有914nm处反射率大于99%,808nm、1064nm和1342nm处透过率大于95%的光学膜,后表面镀有914nm处透过率大于99%,1064nm和1342nm处透过率大于95%光学膜的Nd:YVO4激光晶体;前表面镀有入射角为15°时914nm处反射率大于99%,457nm、1064nm和1342nm处透过率大于98%的光学膜,后表面镀有入射角为15°时228nm处反射率大于95%,457nm处透过率大于99%光学膜的平面镜M1;前后表面镀有457nm和914nm处透过率大于99%光学膜的LBO倍频晶体;凹面镀有457nm和914nm处反射率大于99%的光学膜,平面不镀光学膜的平凹镜M2;前后表面镀有228nm和457nm处透过率大于99%光学膜的BBO倍频晶体;凹面镀有457nm处反射率大于99%、228nm处透过率大于95%的光学膜,平面镀有228nm处透过率大于99%光学膜的平凹镜M3;中心波长228nm±5nm、半高全宽35nm±10nm和峰值透过率大于30%、截止带为350nm到1150nm的滤光片。
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