[发明专利]一种靶材悬挂机构及离子溅射镀膜设备在审
| 申请号： | 201811078411.7 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN108893719A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 周予坤;王安平 | 申请（专利权）人： | 苏州浩联光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴莎 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材悬挂机构及离子溅射镀膜设备，属于光通信用元器件技术领域。其包括分水法兰、通水柱以及上法兰；分水法兰的中部开设有安装通孔，通水柱的一端连接于安装通孔，另一端连接于上法兰；分水法兰的一端上开设有多个第一连接孔，另一端上开设有多个第二连接孔。该离子溅射镀膜设备具有上述的靶材悬挂机构，使得加工件表面膜厚均一性好且良品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜设备 分水法兰 离子溅射 悬挂机构 靶材 安装通孔 一端连接 连接孔 上法兰 水柱 加工件表面 膜厚均一性 元器件技术 良品率 光通信 | ||
【主权项】：
1.一种靶材悬挂机构，其特征在于：所述靶材悬挂机构包括分水法兰、通水柱以及上法兰；所述分水法兰的中部开设有安装通孔，所述通水柱的一端连接于所述安装通孔，另一端连接于所述上法兰；所述分水法兰的一端上开设有多个第一连接孔，另一端上开设有多个第二连接孔。
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