[发明专利]微机电泵的制造方法有效
| 申请号： | 201811079817.7 | 申请日： | 2018-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN110905785B | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;郭俊毅 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B45/047 | 分类号： | F04B45/047;B81C1/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微机电泵的制造方法，包含以下步骤：(a)提供第一基板，将第一基板薄化至第一厚度；(b)于第一基板形成第一氧化层并蚀刻出进气孔；(c)提供第二基板，将第二基板薄化至第二厚度，并于第二基板上蚀刻出穿孔；(d)将第二基板结合至第一基板，且第一氧化层位于第一基板与第二基板之间，进气孔与穿孔错位；(e)提供第三基板，将第三基板薄化至第三厚度；(f)于第三基板上形成第二氧化层并蚀刻出气体通道；(g)于第三基板设置压电组件；以及(h)将第三基板结合至第二基板，且第二氧化层位于第二基板与第三基板之间。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 制造 方法 | ||
【主权项】：
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