[发明专利]阵列基板及其制造方法、显示装置有效

专利信息
申请号: 201811080383.2 申请日: 2018-09-17
公开(公告)号: CN109309122B 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 王珂;卢鑫泓;胡合合;杨维;宁策 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L29/417 分类号: H01L29/417;H01L29/423;H01L27/12;H01L27/32;H01L21/84;H01L21/28;H01L21/44
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 杨广宇
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种阵列基板及其制造方法、显示装置,属于显示技术领域。该阵列基板包括:衬底基板;在衬底基板上设置的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管;其中,第一薄膜晶体管包括:第一有源层、第一栅极、第一源极和第一漏极,第二薄膜晶体管包括:第二有源层、第二栅极、第二源极和第二漏极。第二源极和第二漏极中的一个作为第一电极,第一电极与第一栅极同层设置,且材料均相同;第二源极和第二漏极中的另一个作为第二电极,第二电极与第一源极以及第一漏极同层设置,且材料均相同。该阵列基板中仅需要设置三层导电结构,相对于相关技术中的阵列基板需要至少四层导电结构,该阵列基板的制造工艺较为简单。
搜索关键词: 阵列 及其 制造 方法 显示装置
【主权项】:
1.一种阵列基板,其特征在于,包括:衬底基板;在所述衬底基板上设置的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管;其中,所述第一薄膜晶体管包括:第一有源层、第一栅极、第一源极和第一漏极,所述第二薄膜晶体管包括:第二有源层、第二栅极、第二源极和第二漏极,所述第二源极和所述第二漏极中的一个作为第一电极,所述第一电极与所述第一栅极同层设置,且材料均相同;所述第二源极和所述第二漏极中的另一个作为第二电极,所述第二电极与所述第一源极以及所述第一漏极同层设置,且材料均相同。
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