[发明专利]阵列基板及其制造方法、显示装置有效
申请号: | 201811080383.2 | 申请日: | 2018-09-17 |
公开(公告)号: | CN109309122B | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 王珂;卢鑫泓;胡合合;杨维;宁策 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/417 | 分类号: | H01L29/417;H01L29/423;H01L27/12;H01L27/32;H01L21/84;H01L21/28;H01L21/44 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 杨广宇 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种阵列基板及其制造方法、显示装置,属于显示技术领域。该阵列基板包括:衬底基板;在衬底基板上设置的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管;其中,第一薄膜晶体管包括:第一有源层、第一栅极、第一源极和第一漏极,第二薄膜晶体管包括:第二有源层、第二栅极、第二源极和第二漏极。第二源极和第二漏极中的一个作为第一电极,第一电极与第一栅极同层设置,且材料均相同;第二源极和第二漏极中的另一个作为第二电极,第二电极与第一源极以及第一漏极同层设置,且材料均相同。该阵列基板中仅需要设置三层导电结构,相对于相关技术中的阵列基板需要至少四层导电结构,该阵列基板的制造工艺较为简单。 | ||
搜索关键词: | 阵列 及其 制造 方法 显示装置 | ||
【主权项】:
1.一种阵列基板,其特征在于,包括:衬底基板;在所述衬底基板上设置的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管;其中,所述第一薄膜晶体管包括:第一有源层、第一栅极、第一源极和第一漏极,所述第二薄膜晶体管包括:第二有源层、第二栅极、第二源极和第二漏极,所述第二源极和所述第二漏极中的一个作为第一电极,所述第一电极与所述第一栅极同层设置,且材料均相同;所述第二源极和所述第二漏极中的另一个作为第二电极,所述第二电极与所述第一源极以及所述第一漏极同层设置,且材料均相同。
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