[发明专利]一种Cu-CrBN纳米复合涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201811080532.5 | 申请日： | 2018-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN109023279A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 王谦之;周飞;孔继周;孙欣宇;林云根 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Cu‑CrBN纳米复合涂层及其制备方法，属于表面改性领域，解决了CrBN硬质涂层韧性低，易碎裂的缺点。本发明包括金属Cu掺杂在CrBN涂层中，所述金属Cu以自由态形式存在；利用磁控溅射技术，在Ar和N2混合气氛中，共溅射CrB2靶（直流磁控）和Cu靶（射频磁控）；或在Ar和N2混合气氛中，共溅射Cr靶（直流磁控）、Cu靶（直流磁控）和B靶（射频磁控），在钢基材上制备硬韧兼俱的Cu‑CrBN纳米复合涂层。本发明中Cu‑CrBN涂层的B元素可来源于化合物CrB2靶或单质B靶，对靶位配置数不同的磁控溅射系统均适用。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米复合涂层 直流磁控 制备 混合气氛 射频磁控 共溅射 磁控溅射技术 磁控溅射系统 金属 碎裂 表面改性 硬质涂层 钢基材 位配置 自由态 单质 对靶 掺杂 | ||
【主权项】：
1.一种Cu‑CrBN纳米复合涂层，其特征在于，包括金属Cu掺杂在CrBN涂层中，所述金属Cu以自由态形式存在。
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