[发明专利]离子束的控制方法有效
| 申请号： | 201811083155.0 | 申请日： | 2018-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN109192645B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 汪红红;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244;H01J37/15 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及离子植入技术领域，公开了一种离子束的控制方法，在离子束的控制方法中，电流测量装置测量通过的离子束的电流，并将测得的电流转换成电流信号发送给控制器，控制器将电流信号与预设的电流参数进行比对，当二者不同时，控制器控制光束阻挡器转动，改变离子束的离子束通过量。根据本发明，无需重新设置机台参数，通过控制光束阻挡器的转动，控制离子束通过量，可以灵活适应不同道工序的变化，提高产能并降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种离子束的控制方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1：从离子源射出的离子束到达加速器,加速器加速经过的离子束；步骤S2：经加速后的离子束被引向光束阻挡器，控制器控制光束阻挡器的通道相对于离子束处于封闭状态或者打开状态；步骤S3：电流测量装置测量从光束阻挡器通过的离子束的电流，并将测得的电流转换成电流信号发送给控制器；步骤S4：控制器接收上述电流信号，并与预设的电流参数进行比对，向光束阻挡器发出控制指令；步骤S5：光束阻挡器根据接收到的控制指令发生转动，调整光束阻挡器的离子束通过量。
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