[发明专利]蚀刻液组合物有效
| 申请号： | 201811083417.3 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN109518189B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 朴相㴍;吴陈㙓;金益俊;金希泰;尹景湖;金世训 | 申请（专利权）人： | 易安爱富科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/44 | 分类号： | C23F1/44 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种包含过氧化氢、蚀刻抑制剂、螯合剂、蚀刻添加剂及双氧水稳定剂的蚀刻液组合物，通过不包含氟系化合物，且即使不使用pH值调节剂，也形成4以上的高pH值，从而在铜膜及含钼膜的蚀刻工序中，防止玻璃基板及半导体结构物被蚀刻，使在蚀刻工序中可能产生的不良达到最小。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻液组合物，其特征在于，包含过氧化氢、蚀刻抑制剂、螯合剂、蚀刻添加剂及双氧水稳定剂，所述蚀刻添加剂，相对于组合物的总重量，包含0.01至5重量％的具有一个以上的羧基并且不含氮原子的有机酸和2至10重量％的一种以上的无机铵盐，相对于组合物的总重量，所述双氧水稳定剂为0.01至5重量％，所述蚀刻液组合物的pH值为4至6。
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