[发明专利]一种薄膜测试装置

摘要

本发明涉及材料科学领域，一种薄膜测试装置，包括光纤传感器、反射镜、探头、透镜探针、电晕探针、高压恒流源、金属罩、栅网、位移台、直流电源、电压源、样品台、接地环电极、主电极、显微镜物镜、计算机、电流计和电流控制器，采用悬臂偏向的方法并结合半球形透镜探针，能够对样品表面进行切向和法向的力学测量，能够在对样品表面进行切向和法向的力学测量，结合对样品进行的实时原位成像能够计算出样品的体积弹性模量，对有较大形变量的薄膜表面进行成像的效果较好，提高了测量精度，另外，对薄膜进行电学测量时的充电过程较快且易控制，并能够通过电晕充电方式对薄膜进行相关电学测量，能够同时测量薄膜的力学及电学性质。

主权项

1.一种薄膜测试装置，主要包括光纤传感器I(1)、反射镜I(2)、光纤传感器II(3)、反射镜II(4)、探头(5)、透镜探针(6)、电晕探针(7)、高压恒流源(8)、金属罩(9)、栅网(10)、位移台(11)、直流电源(12)、电压源(13)、样品(14)、样品台(15)、接地环电极(16)、主电极(17)、显微镜物镜(18)、计算机(19)、电流计(20)和电流控制器(21)，xyz为三维空间坐标系，其特征是：所述探头(5)具有前端和末端，所述探头(5)从前端至末端由探针盘(5‑1)、悬臂(5‑2)和微驱动器(5‑3)连接而成，微驱动器(5‑3)能够在y方向移动，最小移动步进为60纳米、最大移动范围为30毫米、最大移动速率为2毫米/秒，所述探针盘(5‑1)为圆盘状，探针盘(5‑1)下表面具有探针位I(5‑1‑1)、探针位II(5‑1‑2)和探针位III(5‑1‑3)，所述探针位I(5‑1‑1)位于探头(5)前端，探针位I(5‑1‑1)能够安装透镜探针(6)、也能够安装电晕探针(7)，探针位II(5‑1‑2)能够安装透镜探针(6)，探针位III(5‑1‑3)能够安装电晕探针(7)，能够将透镜探针(6)从探针位II(5‑1‑2)切换至探针位I(5‑1‑1)以进行力学实验，能够将电晕探针(7)从探针位II(5‑1‑2)切换至探针位I(5‑1‑1)以进行电学实验，探针盘(5‑1)上表面安装有反射镜II(4)，反射镜II(4)与xz平面平行，探针盘(5‑1)侧面安装有反射镜I(2)，反射镜I(2)与xy平面平行；光纤传感器I(1)和光纤传感器II(3)分别电缆连接计算机(19)，光纤传感器I(1)的位置固定并正对着反射镜I(2)，光纤传感器II(3)的位置固定并正对着反射镜II(4)，透镜探针(6)顶端是一个直径范围为1.5毫米至4毫米的半球形的玻璃透镜，电晕探针(7)电缆连接高压恒流源(8)，电晕探针(7)长为20毫米、直径为0.3毫米；探头(5)的透镜探针(6)和电晕探针(7)的下方依次安装有金属罩(9)和栅网(10)，所述金属罩(9)和栅网(10)均连接于位移台(11)，位移台(11)能够分别控制金属罩(9)和栅网(10)移动，金属罩(9)通过位移台(11)电缆连接直流电源(12)，金属罩(9)是长度为24毫米、底面直径为18毫米的圆柱面，圆柱面的轴线沿y方向，栅网(10)是由直径为0.2毫米的金属线组成的边长为2毫米的正方形网格，栅网(10)通过位移台(11)电缆连接电压源(13)，电压源(13)电缆连接电流控制器(21)；样品台(15)位于栅网(10)下方，样品台(15)能够在xz平面内移动，最小移动步进为60纳米、最大移动范围为30毫米、最大移动速率为2毫米/秒，样品台(15)底部具有接地环电极(16)和主电极(17)，所述接地环电极(16)外径为20毫米、内径为18毫米，所述主电极(17)为直径14毫米的圆盘并能够透光，样品(14)位于样品台(15)内，样品(14)分别与接地环电极(16)和主电极(17)接触，主电极(17)依次电缆连接电流计(20)、电流控制器(21)和计算机(19)，显微镜物镜(18)位于样品台(15)下方；电流计(20)测得的样品(14)充电电流I1输入到电流控制器(21)，计算机(19)中预设的样品(14)充电电流I2输入到电流控制器(21)，电流控制器(21)比较I1和I2后输出反馈信号至电压源(13)，以能够控制施加在栅网(10)上的电压。