[发明专利]一种大面积印刷铁电极化的方法在审
| 申请号： | 201811084929.1 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN109456088A | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 张金星;田瑜 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C04B41/91 | 分类号： | C04B41/91;H01L41/257 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 赵晓丹 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大面积印刷铁电极化的方法，包括以下步骤：用酒精和丙酮清洗铁电薄膜表面并烘干；利用光刻技术将光刻胶按所需的图案涂在铁电薄膜表面；将表面按所需的图案涂有光刻胶的铁电薄膜利用一种用液体大面积翻转铁电薄膜极化的装置将没有用光刻胶覆盖的薄膜极化翻转，取出并吹干；利用丙酮清洗铁电薄膜表面的光刻胶并吹干。本发明实现了大面积的铁电极化的印刷，且印刷过程不会破坏铁电薄膜表面结构，极化翻转印刷处理过程简便，易于实现，且成本低廉，便于工业的广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 铁电薄膜 光刻胶 铁电极化 丙酮清洗 极化翻转 印刷 吹干 印刷处理过程 图案 表面结构 光刻技术 印刷过程 翻转 极化 烘干 薄膜 酒精 取出 覆盖 应用 | ||
【主权项】：
1.一种大面积印刷铁电极化的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：在衬底上形成底电极，在底电极上形成铁电薄膜；用酒精和丙酮清洗铁电薄膜表面并烘干；利用光刻技术将光刻胶按所需的图案涂在铁电薄膜表面；将表面按所需的图案涂有光刻胶的铁电薄膜利用一种用液体大面积翻转铁电薄膜极化的装置将没有用光刻胶覆盖的薄膜极化翻转，取出并吹干；利用丙酮清洗铁电薄膜表面的光刻胶并吹干。
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