[发明专利]一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台

摘要

本发明提供了一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，定位装置包括针对不同大小衬底的圆环托盘，圆环托盘上带有刻度，实现对不同规格的圆形衬底的定位；圆柱形连接支架用于连接衬底定位装置和背光照明装置，实现对光源的密封；背光照明装置，提供多种形式的光源，同时保证均匀照明；圆环形转接板，实现照明装置和旋转台的固定；旋转台可带动背光照明装置以及衬底定位装置实现回转运动；具有可拆卸功能的底座，用于固定衬底定位装置以及与检测平台的连接。本发明与现有的装置相比，不仅可实现对多种规格的衬底晶片精确定位和回转运动用于全场扫描测试，又可以提供多种均匀照明的背光光源，满足不同缺陷检测时的照明需求。

主权项

1.一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，其特征在于包括：底座、旋转台、圆环形转接板、背光照明装置、圆柱形连接支架和衬底定位装置；所述旋转台的底端面与底座的上表面形成可拆卸的固定连接；所述旋转台的上表面与所述圆环形连接板连动连接；电机驱动旋转台带动所述圆环形连接板转动；所述背光照明装置设置在圆环形连接板远离旋转台的一面，并且所述背光照明装置的出光方向为远离所述圆环形连接板的方向；所述背光照明装置远离圆环形连接板的一面通过所述圆柱形连接支架与所述衬底定位装置连接；所述圆柱形连接支架将背光照明装置的出光照射在圆柱形连接支架内，并阻挡环境光进入圆柱形连接支架内。