[发明专利]一种压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811087878.8 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110907087B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 朱芸松;潘楠;王晓平 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压力传感器及其制备方法，方法包括以下步骤：将聚二甲基硅氧烷的主剂和助剂以质量比为10:1搅拌均匀，将得到的混合物均匀分散在基材上，固化，得到聚二甲基硅氧烷薄膜；采用激光在所述聚二甲基硅氧烷薄膜上进行光刻，形成石墨烯导电图案；将两个石墨烯导电图案面对面接触放置，得到压力传感器。本申请采用激光辐照PDMS形成了石墨烯导电图案，激光将PDMS分解生成石墨烯，形成边沿突起的导电通道，形状类似中间凹槽、两边三棱柱的结构，在压力作用下变扁，从而使接触面积变大，接触电阻减小，使压力传感器在小压力范围下即具有较高的灵敏度，且制备方法过程简单。压力传感器可以贴于皮肤，可利用于电子皮肤领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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