[发明专利]一种低硼磷高纯硅的制备工艺在审
申请号: | 201811088653.4 | 申请日: | 2018-09-18 |
公开(公告)号: | CN110902684A | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 章宇斌;杨少敏 | 申请(专利权)人: | 南京合创工程设计有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 江苏舜点律师事务所 32319 | 代理人: | 孙丹 |
地址: | 210037 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种低硼磷高纯硅的制备工艺,涉及低硼磷高纯硅生产技术领域。包括以下步骤:制备原料、酸洗除金属杂质、氧化精炼除磷、改进型热交换法除硼、还原提纯。本发明采用酸洗的方式除去工业硅内的金属杂质,再通过氧化精炼和改进型热交换法除去工业硅内的磷和硼,使得磷和硼均被氧化形成易挥发物质,使得硅的纯度达到99.9%以上,除杂效果好,除杂效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 低硼磷 高纯 制备 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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