[发明专利]气体流量标定方法、装置以及控制系统和存储介质有效
| 申请号： | 201811088838.5 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN109470324B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 何漫丽;牟昌华;杜井庆 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创流量计有限公司 |
| 主分类号： | G01F15/00 | 分类号： | G01F15/00 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 巴晓艳 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种气体流量标定方法、装置以及控制系统、存储介质，其中的方法包括：获得标定气体与多个设定点相对应的的实际流量和理论流量，计算流量系数并采用多项式拟合方法获得流量系数与设定点之间关系的曲线方程，根据曲线方程与流量理论方程获得气体流量方程，并根据气体流量方程和气体流量转换系数确定过程气体实际流量。本发明的气体流量标定方法、装置以及控制系统、存储介质，在全量程范围内能够满足流量检测的精度要求，可以实现不同气体间的流量转换，提高了对流量的控制精度，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 流量 标定 方法 装置 以及 控制系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种气体流量标定方法，其特征在于，包括：获得多个设定点处标定气体的标定气体实际流量；其中，所述设定点为被标定质量流量控制器最大量程的不同百分比值的测试点；获得与各个设定点相对应的标定气体理论流量，计算所述标定气体实际流量与相应所述标定气体理论流量的比值，获得与各个设定点对应的流量系数；采用多项式拟合方法对各个设定点以及与各个设定点对应的流量系数进行曲线拟合，获得所述流量系数与所述设定点之间关系的曲线方程；根据所述曲线方程与流量理论方程获得气体流量方程，其中，所述气体流量方程用于确定标定气体与任一设定点对应的气体实际流量。
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