[发明专利]一种TiN/ZrN纳米多层涂层及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201811089578.3 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN109207923A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 王启民;黄雪丽;张腾飞;高则翠;钟星 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 511400 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TiN/ZrN纳米多层涂层及其制备方法和应用。该涂层包括基体和交替沉积的TiN层和ZrN层，所述TiN层和ZrN层的层数各为10~400层，所述涂层的调制周期为4~40nm，所述TiN层和ZrN层的单层厚度比为2:1。本发明采用直流磁控溅射技术制备得到TiN/ZrN纳米多层涂层，所得涂层的硬度高达28GPa以上，弹性模量为425~480GPa，同时还具备高耐磨性能和耐腐蚀性能。本发明的制备方法简单可控，制备周期短，成本低，所得涂层具备优异的硬度、韧性、耐磨性和耐腐蚀性能，能用于苛刻的环境中，完全适用于机械零部件、刀具、模具、海上作业产品的表面防护中。 | ||
| 搜索关键词： | 多层涂层 制备方法和应用 耐腐蚀性能 制备 弹性模量 磁控溅射技术 高耐磨性能 机械零部件 耐磨性 表面防护 采用直流 调制周期 海上作业 交替沉积 制备周期 厚度比 单层 可控 模具 刀具 | ||
【主权项】：
1.一种TiN/ZrN纳米多层涂层，其特征在于，该涂层包括基体和交替沉积的TiN层和ZrN层，所述TiN层和ZrN层的层数各为10~400层，所述涂层的调制周期为4~40nm，所述TiN层和ZrN层的单层厚度比为2:1。
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