[发明专利]一种镍基管状阴极靶材的制备方法及其应用在审
| 申请号： | 201811092237.1 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110923637A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 邓先树 | 申请（专利权）人： | 成都建极微波技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/14;C22C19/05 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川省成都市成华*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镍基管状阴极靶材的制备方法，本方法通过合金熔炼工艺及成分控制、型壳工艺和铸造工艺、机加工工艺，制备出满足技术要求的镍基管状阴极靶材。所述镍基管状阴极靶材的应用采用真空电弧镀涂镀，涂镀工艺参数有：1)离子清理；2)涂层涂镀。本发明将镍基管状阴极靶材作为挥发阴极材料，采用真空电弧镀工艺方法，用于涂敷热端部件表面涂层的制备，提高了零件表面的高温抗氧化、抗腐蚀性能，延长零件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管状 阴极 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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