[发明专利]化学增幅型正型感光性树脂组成物、光阻图案及其形成方法以及电子装置有效
| 申请号： | 201811092392.3 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN109557764B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 许智航;刘骐铭;施俊安 | 申请（专利权）人： | 奇美实业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 朱颖;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种化学增幅型正型感光性树脂组成物、光阻图案及其形成方法以及电子装置，该化学增幅型正型感光性树脂组成物包括：含有酸解离性保护基的聚羟基苯乙烯树脂(A)；单不饱和腈化合物(B)；光酸产生剂(C)；以及溶剂(D)，使用所述化学增幅型正型感光性树脂组成物能够改善密着性及锥度角不佳的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 增幅 型正型 感光性 树脂 组成 图案 及其 形成 方法 以及 电子 装置 | ||
【主权项】：
1.一种化学增幅型正型感光性树脂组成物，其特征在于，包括：含有酸解离性保护基的聚羟基苯乙烯树脂(A)；单不饱和腈化合物(B)；光酸产生剂(C)；以及溶剂(D)。
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