[发明专利]存储器结构有效
申请号: | 201811092463.X | 申请日: | 2018-09-19 |
公开(公告)号: | CN109037225B | 公开(公告)日: | 2023-09-12 |
发明(设计)人: | 夏志良;陈俊;鲍琨;董金文;华文宇;靳磊;江宁;刘峻 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | H10B43/20 | 分类号: | H10B43/20;H10B43/35 |
代理公司: | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人: | 董琳 |
地址: | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种存储器结构,包括:衬底层,所述衬底层具有相对的正面和背面,所述衬底层内形成有导电区域,所述导电区域的顶部朝向所述衬底层的正面,所述导电区域的底部朝向所述衬底层的背面,所述导电区域包括:位于所述导电区域底部的屏蔽层,以及位于所述屏蔽层上方的N型掺杂阱;存储层,所述存储层位于所述衬底层的正面上;隔离结构,贯穿所述衬底层,且位于所述导电区域边缘,包围所述导电区域设置,用于隔离所述导电区域与所述隔离结构外围的衬底层。所述存储器的性能得到提高。 | ||
搜索关键词: | 存储器 结构 | ||
【主权项】:
1.一种存储器结构,其特征在于,包括:衬底层,所述衬底层具有相对的正面和背面,所述衬底层内形成有导电区域,所述导电区域的顶部朝向所述衬底层的正面,所述导电区域的底部朝向所述衬底层的背面,所述导电区域包括:位于所述导电区域底部的屏蔽层,以及位于所述屏蔽层上方的N型掺杂阱;存储层,所述存储层位于所述衬底层的正面上;隔离结构,贯穿所述衬底层,且位于所述导电区域边缘,包围所述导电区域设置,用于隔离所述导电区域与所述隔离结构外围的衬底层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司,未经长江存储科技有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811092463.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:存储器结构
- 下一篇:3D存储器件及其制造方法