[发明专利]存储器结构有效

专利信息
申请号: 201811092463.X 申请日: 2018-09-19
公开(公告)号: CN109037225B 公开(公告)日: 2023-09-12
发明(设计)人: 夏志良;陈俊;鲍琨;董金文;华文宇;靳磊;江宁;刘峻 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: H10B43/20 分类号: H10B43/20;H10B43/35
代理公司: 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 代理人: 董琳
地址: 430074 湖北省武汉市洪山区东*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明涉及一种存储器结构,包括:衬底层,所述衬底层具有相对的正面和背面,所述衬底层内形成有导电区域,所述导电区域的顶部朝向所述衬底层的正面,所述导电区域的底部朝向所述衬底层的背面,所述导电区域包括:位于所述导电区域底部的屏蔽层,以及位于所述屏蔽层上方的N型掺杂阱;存储层,所述存储层位于所述衬底层的正面上;隔离结构,贯穿所述衬底层,且位于所述导电区域边缘,包围所述导电区域设置,用于隔离所述导电区域与所述隔离结构外围的衬底层。所述存储器的性能得到提高。
搜索关键词: 存储器 结构
【主权项】:
1.一种存储器结构,其特征在于,包括:衬底层,所述衬底层具有相对的正面和背面,所述衬底层内形成有导电区域,所述导电区域的顶部朝向所述衬底层的正面,所述导电区域的底部朝向所述衬底层的背面,所述导电区域包括:位于所述导电区域底部的屏蔽层,以及位于所述屏蔽层上方的N型掺杂阱;存储层,所述存储层位于所述衬底层的正面上;隔离结构,贯穿所述衬底层,且位于所述导电区域边缘,包围所述导电区域设置,用于隔离所述导电区域与所述隔离结构外围的衬底层。
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