[发明专利]退镀剂及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 201811092896.5 申请日: 2018-09-19
公开(公告)号: CN110922066A 公开(公告)日: 2020-03-27
发明(设计)人: 田彪;周重九;魏云鹏;任鹏;段水亮 申请(专利权)人: 韶关比亚迪电子有限公司
主分类号: C03C23/00 分类号: C03C23/00
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人: 陈静;刘依云
地址: 512023 广东省韶关市浈江区工业园比*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及镀膜领域,公开了退镀剂及其制备方法和应用,该退镀剂中含有独立保存或者混合保存的3~10重量%的组分A、4~10重量%的组分B、0.5~5重量%的碳酸钠、0.5~8重量%的葡萄糖酸钠、1~10重量%的分散剂、1~3重量%的消泡剂、水,所述组分A为氢氧化钠和/或氢氧化钾,所述组分B为十二烷基硫酸钠和/或十二烷基磺酸钠。本发明提供的前述退镀剂能够在不使用F元素的前提下使膜层中的SiO2和/或TiO2反应加速以实现脱落效果。因此,本发明的退镀剂环保性大大提高,并且退镀剂的起泡性大大提高,适用于PVD后的挡板清洗。
搜索关键词: 退镀剂 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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