[发明专利]浓度控制装置和材料气体供给装置

摘要

本发明提供不降低维护性而能缩短配管、提高响应性的浓度控制装置。其向储存材料的储存罐导入载气，并对材料气体的浓度进行控制，材料气体作为与载气的混合气体而从储存罐被导出且由材料气化而成，具备：第一单元，控制向储存罐导入的载气的流量；第二单元，检测从储存罐导出的材料气体的浓度，第一单元具备：第一块部，在内部具有供载气流通的载气流路；第一流量传感器，检测在载气流路中流通的载气的流量；第一流量控制阀，基于第一流量传感器的检测值，控制在载气流路中流通的载气的流量，第二单元具备：第二块部，在内部具有供混合气体流通的混合气体流路，并与第一块部可拆装地连结；浓度检测器，检测在混合气体流路中流通的材料气体的浓度。

主权项

1.一种浓度控制装置，其特征在于，向储存材料的储存罐导入载气，并对材料气体的浓度进行控制，所述材料气体作为与所述载气混合的混合气体而从所述储存罐被导出且由所述材料气化而成，所述浓度控制装置具备：第一单元，其控制向所述储存罐导入的所述载气的流量；以及第二单元，其检测从所述储存罐导出的所述材料气体的浓度，所述第一单元具备：第一块部，其在内部具有供所述载气流通的载气流路；第一流量传感器，其检测在所述载气流路中流通的所述载气的流量；以及第一流量控制阀，其基于所述第一流量传感器的检测值，控制在所述载气流路中流通的载气的流量，所述第二单元具备：第二块部，其在内部具有供所述混合气体流通的混合气体流路，并与所述第一块部可拆装地连结；以及浓度检测器，其检测在所述混合气体流路中流通的所述材料气体的浓度。