[发明专利]晶体生长炉电能质量分布式补偿与品质提升方法在审

专利信息
申请号: 201811093968.8 申请日: 2018-09-19
公开(公告)号: CN109193656A 公开(公告)日: 2019-01-11
发明(设计)人: 宋旭波;齐绍周;王志岭;王少林;姚恒;张帅 申请(专利权)人: 山东新升光电科技有限责任公司
主分类号: H02J3/01 分类号: H02J3/01;C30B15/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 250204 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种晶体生长炉电能质量分布式补偿与品质提升方法,所述方法具体如下:通过对每一晶体生长炉进线端并接一有源滤波器,并通过485通信总线将有源滤波器通信端连接到晶体炉电能质量集中管控平台形成分布式就地补偿系统;晶体炉电能质量集中管控平台采集每一有源滤波器检测数据和补偿数据,并完成协调控制;每一所述有源滤波器对每一晶体生长炉进行监测和自适应投切;另外,分布式就地补偿系统通过对母线进行监测,并通过有源滤波器实时补偿,消除各有源滤波器之间形成的干扰信号。本发明的晶体生长炉电能质量分布式补偿与品质提升方法,生长炉并接的有源滤波器进行就地补偿,并通过开关柜有源滤波器进行总体补偿,提高生产生产质量。
搜索关键词: 源滤波器 晶体生长炉 分布式补偿 就地补偿 品质提升 集中管控平台 晶体炉 并接 补偿数据 干扰信号 检测数据 实时补偿 协调控制 进线端 开关柜 生长炉 通信端 自适应 监测 母线 投切 采集 生产
【主权项】:
1.一种晶体生长炉电能质量分布式补偿与品质提升方法,其特征在于:所述方法具体如下:通过对每一晶体生长炉进线端并接一有源滤波器,并通过485通信总线将有源滤波器通信端连接到晶体炉电能质量集中管控平台形成分布式就地补偿系统;晶体炉电能质量集中管控平台采集每一有源滤波器检测数据和补偿数据,并完成协调控制;每一所述有源滤波器对每一晶体生长炉进行监测和自适应投切; 另外,分布式就地补偿系统通过对母线进行监测,并通过有源滤波器实时补偿,消除各有源滤波器之间形成的干扰信号。
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