[发明专利]具有提升光罩对比度的晶粒贴附位置定位装置有效
| 申请号： | 201811098373.1 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110933927B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 卢彦豪 | 申请（专利权）人： | 梭特科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K13/04 | 分类号： | H05K13/04 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有提升光罩对比度的晶粒贴附位置定位装置，包含光罩构件、晶粒贴附体、影像撷取构件、电磁波发射构件、贴附构件及定位调整构件，光罩构件的表面镂刻有预定图形，预定图形的对电磁波的穿透度或反射度异于光罩构件的未被镂刻的表面而形成绝对精度记号，影像撷取构件撷取包含有晶粒贴附体及绝对精度记号的晶粒贴附位置定位用影像，电磁波发射构件以电磁波穿透光罩构件或经由光罩构件反射电磁波的方式，朝影像撷取构件发射电磁波，依据晶粒贴附位置定位用影像精密调整以使贴附构件对应匹配晶粒贴附面的预设晶粒贴附位置。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 提升 对比度 晶粒 位置 定位 装置 | ||
【主权项】：
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