[发明专利]感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法在审
| 申请号： | 201811098959.8 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN109581812A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 成子朗人;浅冈高英;松本晃幸;工藤和生 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 彭雪瑞;臧建明 |
| 地址： | 日本东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可使放射线感度与所谓的PCD裕度、PED裕度特性并存的感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法。所述感放射线性树脂组合物，包含：聚合体成分(A)，在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环上的烷氧基硅烷基的结构单元(I)及含有酸性基的结构单元(II)(其中，源自芳香族不饱和羧酸及含羟基氟化烷基的单体的结构单元除外)；感放射线性化合物(B)；以及有机溶媒(G)。 | ||
| 搜索关键词： | 感放射线性树脂组合物 半导体元件 显示装置 芳香环 聚合体 硬化膜 裕度 烷氧基硅烷基 不饱和羧酸 感放射线性 氟化烷基 有机溶媒 芳香族 放射线 酸性基 直接键 感度 羟基 制造 | ||
【主权项】：
1.一种感放射线性树脂组合物，其特征在于，包含：聚合体成分(A)，在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环上的烷氧基硅烷基的结构单元(I)及含有酸性基的结构单元(II)，其中，源自芳香族不饱和羧酸及含羟基氟化烷基的单体的结构单元除外；感放射线性化合物(B)；以及有机溶媒(G)。
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