[发明专利]物理量传感器和传感器器件、电子设备、便携式电子设备及移动体

摘要

提供一种能够发挥良好温度特性的物理量传感器和传感器器件、电子设备、便携式电子设备及移动体。物理量传感器包括基板、检测第一方向加速度的一对第一元件部以及检测第二方向加速度的一对第二元件部。第一元件部包括能够沿第一方向位移的第一可动部、配置于第一可动部的第一、第二可动电极指、与第一、第二可动电极指相对配置的第一、第二固定电极指、以及支承第一、第二固定电极指的第一、第二支承部。第二元件部包括能够沿第二方向位移的第二可动部、配置于第二可动部的第三、第四可动电极指、与第三、第四可动电极指相对配置的第三、第四固定电极指、以及支承第三、第四固定电极指的第三、第四支承部。

主权项

1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；一对第一元件部，配置于所述基板，检测第一方向的加速度；以及一对第二元件部，配置于所述基板，检测与所述第一方向正交的第二方向的加速度，所述一对第一元件部分别包括：第一可动部，相对于所述基板能够沿所述第一方向位移；第一可动电极指以及第二可动电极指，配置于所述第一可动部；第一固定电极指，相对于所述第一可动电极指配置于所述第一方向的一侧；第一支承部，固定于所述基板，支承所述第一固定电极指；第二固定电极指，相对于所述第二可动电极指配置于所述第一方向的另一侧；以及第二支承部，固定于所述基板，与所述第一支承部并排设置，支承所述第二固定电极指，所述一对第二元件部分别包括：第二可动部，相对于所述基板能够沿所述第二方向位移；第三可动电极指以及第四可动电极指，配置于所述第二可动部；第三固定电极指，相对于所述第三可动电极指配置于所述第二方向的一侧；第三支承部，固定于所述基板，支承所述第三固定电极指；第四固定电极指，相对于所述第四可动电极指配置于所述第二方向的另一侧；以及第四支承部，固定于所述基板，与所述第三支承部并排设置，支承所述第四固定电极指。