[发明专利]棱镜的设计方法、自参考干涉仪及其设计方法和对准系统有效
| 申请号： | 201811101521.0 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110927962B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 孙建超 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B5/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种棱镜的设计方法、自参考干涉仪及其设计方法和对准系统棱镜命名为第一光场旋转棱镜，设计方法包括：建立笛卡尔坐标系XYZ，并在笛卡尔坐标系中设置长方体PEAL1‑H1K1B1G1和长方体H1K1B1G1‑F1D1J1I1；确定第一光场旋转棱镜的三个内反面，分别为第一内反面、第二内反面和第三内反面；调节第一光场旋转角α1的大小实现控制入射光在第一光场旋转棱镜中旋转的角度大小；其中，第一内反面所在顶点与第二内反面所在中点之间连线在平面H1K1B1G1内的垂直投影为线段T1,第三内反面所在顶点与第二内反面所在中点之间连线在平面H1K1B1G1内的垂直投影为线段T2，第一光场旋转角α1为线段T1与线段T2之间形成的夹角。本发明实施例以实现光场任意角度的旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 棱镜 设计 方法 参考 干涉仪 及其 对准 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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