[发明专利]一种蒸发台有效
| 申请号： | 201811102593.7 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN109023258B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 陈国松;梁瑶 | 申请（专利权）人： | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283 | 代理人： | 周全;葛军 |
| 地址： | 225008 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种蒸发台。涉及半导体加工设备，尤其涉及一种蒸发台。提供了一种结构简单，方便清理，提高加工效率的蒸发台。包括工作台、蒸发台体、转台和摆动组件，所述蒸发台体设在工作台的上方，所述工作台的顶面设有容置槽，所述容置槽用于放置转台，所述工作台的底面设有安置槽一和安置槽二，所述安置槽一用于放置电机，所述安置槽二用于放置加热器；所述摆动组件包括液压油缸和固定盘，所述液压油缸设在盖板上，所述液压油缸的推杆连接固定盘，所述固定盘位于锥形孔内、用于连接圆片。本发明方便加工，操作可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发台，其特征在于，包括工作台、蒸发台体、转台和摆动组件，所述蒸发台体设在工作台的上方，所述工作台的顶面设有容置槽，所述容置槽用于放置转台，所述工作台的底面设有安置槽一和安置槽二，所述安置槽一用于放置电机，所述安置槽二用于放置加热器；所述安置槽一和容置槽之间设有贯通的穿孔，所述电机的转轴位于穿孔内、用于驱动转台旋转动作，所述转台的顶面在圆周上均布设有四个加热槽，所述安置槽二和容置槽相连通，所述安置槽二位于任一加热槽的下方；所述蒸发台体上设有上大下小的锥形孔，所述锥形孔的顶部设有盖板，所述锥形孔用于与任一加热槽连通；所述摆动组件包括液压油缸和固定盘，所述液压油缸设在盖板上，所述液压油缸的推杆连接固定盘，所述固定盘位于锥形孔内、用于连接圆片。
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