[发明专利]一种基于非水解溶胶-凝胶WO3 有效
| 申请号： | 201811103292.6 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN109187665B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 沈岩柏;周鹏飞;赵思凯;陈享享;钟祥熙;李国栋;殷尧禹;韩聪;魏德洲 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 赵淑梅;李馨 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： |
本发明属于半导体金属氧化物气敏元件技术领域，具体涉及一种基于非水解溶胶‑凝胶WO |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 水解 溶胶 凝胶 wo base sub | ||
【主权项】：
1.一种基于非水解溶胶‑凝胶WO3多孔薄膜的NO2气敏元件，其特征在于，所述气敏元件主要由电极元件和均匀涂覆在电极元件上的WO3多孔薄膜气敏层组成，所述WO3多孔薄膜由WO3纳米凝胶颗粒旋涂而成，所述WO3纳米凝胶颗粒直径为20～60nm，所述WO3为单斜晶体结构。
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