[发明专利]一种双缓冲层钙钛矿太阳能电池制造方法

摘要

本发明公开了一种双缓冲层钙钛矿太阳能电池制备方法。该方法主要包括依次形成底电极、下部纳米双缓冲层、电子传输层、钙钛矿吸收层、空穴传输层、上部纳米双缓冲层、顶电极以及抗反射涂层。通过在电子传输层/空穴传输层之间形成纳米TiO₂/MoO₂缓冲层结构，能够更好的保护电子传输层/钙钛矿吸收层/空穴传输层的钙钛矿太阳能电池主体结构，从而能够实现大面积的钙钛矿太阳能电池的制造。

主权项

1.一种双缓冲层钙钛矿太阳能电池制造方法，其特征在于包括以下步骤：(1)形成底电极将透明导电玻璃依次用丙酮、乙醇、去离子水超声清洗，再经紫外臭氧处理，得到洁净的透明导电玻璃衬底；(2)形成下部纳米缓冲层使用溶胶凝胶法在透明导电玻璃衬底上旋涂形成纳米二氧化钛颗粒,再经过室温干燥去除多余溶剂，随后通过水热法在其上形成一层二氧化钼层，并缓慢升温至60℃进行烘干处理，形成纳米TiO2/MoO2缓冲层；(3)形成电子传输层在缓冲层上形成一层电子传输层；(4)形成钙钛矿吸收层在电子传输层上旋涂钙钛矿薄膜，并将膜置于真空室中3秒钟以通过除去残余溶剂来促进钙钛矿成核，在环境空气中进行旋涂工艺；以4000rpm的转速旋转50秒，然后以2000rpm的速度旋转18秒，在150℃的温度下退火15分钟，形成钙钛矿吸收层。(5)形成空穴传输层在钙钛矿吸收层上形成空穴传输层；(6)形成上部纳米缓冲层使用溶胶凝胶法在透明导电玻璃衬底上旋涂形成纳米二氧化钛颗粒,再经过室温干燥去除多余溶剂，随后通过水热法在其上形成一层二氧化钼层，并缓慢升温至60℃进行烘干处理，形成纳米TiO2/MoO2缓冲层；(7)形成顶电极使用蒸镀方法，在上述多层膜上蒸镀顶电极层；(8)形成抗反射层使用蒸发法在顶电极上形成一层抗反射层。