[发明专利]升降销组件有效

专利信息
申请号: 201811109709.X 申请日: 2015-05-28
公开(公告)号: CN109390270B 公开(公告)日: 2023-04-11
发明(设计)人: 邦妮·T·基亚;贾勒帕里·拉维;曼朱纳塔·科普帕;维诺德·孔达·普拉斯;振雄·马修·蔡;阿拉维德·米亚尔·卡马斯 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 于此提供升降销组件的实施方式。在一些实施方式中,升降销组件包含:伸长底座,由第一材料所形成,并具有形成在底座的远端中的第一特征结构,以与尖端接合并可移除地支撑尖端;及尖端,由不同于第一材料的第二材料所形成,并在尖端的第一侧及尖端的相对第二侧上具有支撑表面,其中相对第二侧包含第二特征结构,以匹配底座的第一特征结构,以可移除地将尖端保持于底座的远端上。
搜索关键词: 升降 组件
【主权项】:
1.一种升降销组件,包括:平台;及升降销,从所述平台延伸并包括第一材料及第二材料,所述第一材料提供第一支撑表面且所述第二材料提供第二支撑表面,其中所述升降销包含护套和延伸经过所述护套的销,并且其中所述第一支撑表面为所述销的上表面,且所述第二支撑表面为所述护套的上表面,其中所述第一支撑表面位于所述第二支撑表面的上方,并且其中所述销在第一位置和第二位置间是可移动的,所述升降销组件进一步包括:弹簧,支撑所述销的套环且在所述第一位置中的未压缩状态及在所述第二位置中的压缩状态间是可移动的,其中所述弹簧具有弹簧常数,使得当基板设置于所述升降销组件上时,所述销位于所述第一位置中,且当遮盘设置于所述升降销组件上时,所述销位于所述第二位置中。
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