[发明专利]一种用于原子力显微镜液下测量的激光调节方法有效

专利信息
申请号: 201811109905.7 申请日: 2018-09-21
公开(公告)号: CN109116054B 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 刘志坚;于可真;刘连坤;宋永欣;潘新祥 申请(专利权)人: 大连海事大学
主分类号: G01Q30/00 分类号: G01Q30/00;G01Q60/24
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 赵淑梅;李洪福
地址: 116026 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明涉及一种用于原子力显微镜液下测量的激光调节方法。本发明利用液体的毛细力在液面和夹持器之间形成的液桥,使反射光在探针和夹持器间传播的介质仅为液体,反射光路稳定;利用毛细力形成的液桥没有气泡等不稳定相,不会影响反射光路,在毛细力作用下形成液桥能在1秒内完成,大大缩短了激光调节的时间,而且采用本发明,使检测样品不必暴露的气体中,能用来测量细胞、细菌等活体微生物。本发明使原子显微镜液下测量时激光调节方法更加方便、简单和可靠,对原子力显微镜液相模式下激光的快速、可靠调节具有重要意义。
搜索关键词: 一种 用于 原子 显微镜 测量 激光 调节 方法
【主权项】:
1.一种原子力显微镜液下测量的激光调节方法,其特征在于,包括下列步骤:(1)在大气环境下,调节原子力显微镜的图像传感器CCD的位置,直至在CCD图像界面观察到清晰的探针实像;用“阴影法”调节入射激光的位置,使其光斑照在悬臂前端;调节四象限光电检测器位置,使入射激光反射到四象限光电检测器上的激光强度最大,即原子力显微镜显示屏上的SUM值最大,调节四象限光电检测器使反射激光照在四象限光电检测器的中心;(2)向下移动探针至针尖浸入液面,探针与夹持器间的空间有部分液体和气体,激光反射光路因在液体中折射而改变,反射光超出四象限光电检测器的检测范围,SUM值变为0,系统撞针保护开启,不能继续向下移动探针;(3)向探针和液面间缓慢滴加液体,液体在毛细力作用下会向上运动至夹持器下表面,继续滴加液体直至液体在毛细力作用下填满夹持器整个下表面,从而在液面和夹持器之间形成液桥;液桥形成后,探针与夹持器间的空间被液体填满,反射光在探针与夹持器间传播介质变为纯液相,因此反射光路不会再因探针浸入液体的深度的而改变;液桥的形成补偿了激光反射光路的变化。(4)向探针针尖方向微调入射激光至原子力显微镜显示屏上的SUM值最大,并调节四象限光电检测器,使反射激光再次照在四象限光电检测器中心;(5)因光在液体中折射,之前调节好的探针实像会变模糊,再次调CCD至探针清晰实像;(6)使探针以不高于全速的20%向上移动一步,解除撞针保护,并将探针的移动速度调回正常值;速度不高于20%的目的是防止液桥因速度太大被破坏。(7)继续向下移动探针至液体内待测样品表面附近,如果是透明样品,使CCD聚焦至探针在样品表面形成的倒影,如果是非透明样品,使CCD聚焦至样品表面;(8)将扫描范围scan size设为0nm,进针开始液下测量。
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