[发明专利]连续取晶固晶机构在审
| 申请号： | 201811110448.3 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN109216245A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 向军;冯霞霞 | 申请（专利权）人： | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人： | 祝进 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种连续取晶固晶机构，包括放置晶元蓝膜的托盘和放置料片的置料台，在所述托盘和置料台之间设置有将晶元蓝膜上的晶粒取放至所述料片上的甩臂，还包括蓝膜上下料装置，所述蓝膜上下料装置包括蓝膜料仓和取料爪，所述蓝膜料仓中放置有待取晶操作的晶元蓝膜，所述取料爪在所述蓝膜料仓和所述托盘之间移动并能取放所述晶元蓝膜，通过设置可以自动切换晶元蓝膜的取料爪使得整个取晶固晶过程可以连续进行，操作人员只需要负责蓝膜料仓中补料，切换晶元蓝膜由取料爪进行，减轻了操作人员的劳动强度，提高了取晶固晶的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝膜 晶元 取料爪 固晶 料仓 托盘 上下料装置 置料台 料片 取放 晶粒 自动切换 补料 甩臂 移动 | ||
【主权项】：
1.一种连续取晶固晶机构，包括放置晶元蓝膜的托盘（1）和放置料片的置料台（2），在所述托盘（1）和置料台（2）之间设置有将晶元蓝膜上的晶粒取放至所述料片上的甩臂（3），其特征在于：还包括蓝膜上下料装置，所述蓝膜上下料装置包括蓝膜料仓（4）和取料爪（5），所述蓝膜料仓（4）中放置有待取晶操作的晶元蓝膜，所述取料爪（5）在所述蓝膜料仓（4）和所述托盘（1）之间移动并能取放所述晶元蓝膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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