[发明专利]一种金属铀表面渗硅改性层及其制备方法、制备装置有效
申请号: | 201811115836.0 | 申请日: | 2018-09-25 |
公开(公告)号: | CN109097725B | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 张永彬;胡殷;闫婷文;朱康伟;周寰林;潘启发;钟火平;杨瑞龙;周萍;刘柯钊 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院材料研究所 |
主分类号: | C23C10/08 | 分类号: | C23C10/08 |
代理公司: | 成都君合集专利代理事务所(普通合伙) 51228 | 代理人: | 张鸣洁 |
地址: | 621700 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种金属铀表面渗硅改性层及其制备方法、制备装置,在金属铀表面的渗硅改性层;所述渗硅改性层的为陶瓷态的铀硅氧钝化膜;所述渗硅改性层的厚度为不低于200nm;本发明还公开了一种金属铀表面渗硅改性层的制备方法和制备装置,在真空度不超过30Pa的真空室中,以氩气和含硅元素的气体作为反应气体,采用脉冲激光扫描系统对温度为160~170℃的工件进行表面扫描。本发明在金属铀表面形成杂质含量低、化学稳定性高、与基体结合紧密的铀硅氧渗硅改性层,其具备良好的耐腐蚀能力,也为金属铀提供了一种解决铀表面防腐蚀问题的全新途径。另外,本发明对工件形状没有特殊要求,既适用于平面工件又适用于异形工件,具有较强的适应性。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 表面 改性 及其 制备 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种金属铀表面渗硅改性层,其特征在于:在金属铀表面的渗硅改性层;所述渗硅改性层的为陶瓷态的铀硅氧钝化膜;所述渗硅改性层的厚度为不低于200nm。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C10-00 金属材料表面中仅渗入金属元素或硅的固渗
C23C10-02 .被覆材料的预处理
C23C10-04 .局部表面上的扩散处理,例如使用掩蔽物
C23C10-06 .使用气体的
C23C10-18 .使用液体,例如盐浴、悬浮液的
C23C10-28 .使用固体,例如粉末、膏剂的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C10-00 金属材料表面中仅渗入金属元素或硅的固渗
C23C10-02 .被覆材料的预处理
C23C10-04 .局部表面上的扩散处理,例如使用掩蔽物
C23C10-06 .使用气体的
C23C10-18 .使用液体,例如盐浴、悬浮液的
C23C10-28 .使用固体,例如粉末、膏剂的