[发明专利]一种细化钕铁硼磁铁晶粒尺寸的装置及其方法

摘要

本发明公开了一种细化钕铁硼磁铁晶粒尺寸的装置，包括用于固定样品的夹持装置、为获得脉冲电子束的电子束装置和密闭装置，所述夹持装置包括滑轨、夹钳、支撑台；本发明还提出了一种细化钕铁硼磁铁晶粒尺寸的加工方法，包括调整夹钳之间的间距，将样品固定于夹钳之间等步骤。本发明可以对不同尺寸的样品进行加工，烧结钕铁硼磁铁晶粒的尺寸在脉冲电子束的加工下能够大大缩小；此方法相对于传统方法效率更高；此方法在生产流程中能够达到高度自动化；高能脉冲电子束的加工过程是在真空环境下进行，对样品的污染更少，加工表面也不易被氧化；高能脉冲电子束的加工参数是可控的，所以钕铁硼的微观结构更容易调控。

主权项

1.一种细化钕铁硼磁铁晶粒尺寸的装置，其特征在于，包括用于固定样品(18)的夹持装置、为获得脉冲电子束的电子束装置和密闭装置，所述夹持装置包括滑轨(2)、夹钳(3)、支撑台(5)，所述滑轨(2)通过螺丝(1)固定在支撑台(5)的上端，所述夹钳(3)与滑轨(2)嵌套在一起，所述滑轨(2)上安装有用于固定夹钳(3)的销(4)，所述电子束装置包括电子枪(6)、偏转线圈(7)、氩气瓶(9)、连通管、氩气阀(8)，所述氩气瓶(9)通过管道与电子枪(6)连接，所述氩气阀(8)安装在氩气瓶(9)与电子枪(6)的连通管之间，所述密封装置包括实验腔(10)、气压计(13)、氮气阀(16)、旋转泵(11)、涡轮分子泵(14)、排气口(12)、氮气瓶(17)以及闸门阀(15)，所述实验腔(10)设置于整个装置的外侧且与外界环境密闭，所述旋转泵(11)与实验腔(10)连通，所述氮气瓶(17)与氮气阀(16)均连接于涡轮分子泵(14)之后，所述涡轮分子泵(14)安装于氮气阀(16)与实验腔(10)之间，所述闸门阀(15)安装在涡轮分子泵(14)与实验腔(10)之间连通管上。