[发明专利]气体流量测量方法、装置以及控制系统和气体质量流量计有效

专利信息
申请号: 201811117616.1 申请日: 2018-09-20
公开(公告)号: CN109470325B 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 赵迪;郑文宁;王瑞 申请(专利权)人: 北京七星华创流量计有限公司
主分类号: G01F15/00 分类号: G01F15/00
代理公司: 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 代理人: 巴晓艳
地址: 100176 北京市大兴*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种气体流量测量方法、装置以及控制系统和气体质量流量计、存储介质,包括:获取MEMS传感器采集的第一流量数据和热式流量传感器采集的第二流量数据;如果变化状态为变化慢状态,则基于第二流量数据确定当前气体流量的数据;如果变化状态为变化快状态时,基于第一流量数据和转换系数函数获得当前气体流量的数据;基于第一流量数据和第二流量数据对转换系数函数进行校正处理。本发明的方法、装置以及控制系统和气体质量流量计、存储介质,能够充分利用MEMS传感器快响应的优势;能够保证产品的长期准确性、线性、重复性和特气适用性,并且在校正时数据不会发生突变;提高了对流量的测试精度。
搜索关键词: 气体 流量 测量方法 装置 以及 控制系统 质量 流量计
【主权项】:
1.一种气体流量测量方法,其特征在于,包括:获取MEMS传感器采集的第一流量数据和热式流量传感器采集的第二流量数据;基于所述第一流量数据以及预设的状态判决规则确定气体流量的变化状态;如果所述变化状态为变化慢状态,则基于所述第二流量数据确定当前气体流量的数据;如果所述变化状态为变化快状态时,基于所述第一流量数据和转换系数函数获得当前气体流量的数据;如果判断需要对所述转换系数函数进行校正,则基于所述第一流量数据和所述第二流量数据对所述转换系数函数进行校正处理,并使用得到的新转换系数函数替代当前的转换系数函数。
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