[发明专利]柔性光致超声薄膜换能器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811119048.9 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN109433571B | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 夏慧;丁广鑫;李晓南;王丽丽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | B06B3/00 | 分类号： | B06B3/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种柔性光致超声薄膜换能器，自下至上依次为柔性透明基底(120)、光吸收层(130)和热弹性层(140)。柔性基底(120)为透明聚二甲基硅氧烷聚合物；光吸收层(130)为碳纳米管；热弹性层(140)为聚二甲基硅氧烷聚合物。制备柔性化光致超声薄膜换能器的方法为：在玻璃衬底上旋涂聚二甲基硅氧烷溶液，制备柔性透明基底；然后将沉积有碳纳米管滤饼的氧化铝无机过滤膜按压在第二步制备的透明聚合物薄膜上，剥离氧化铝无机过滤膜，在透明聚合物基底上得到转移有光吸收层的碳纳米管薄膜；在碳纳米管薄膜层上旋涂聚二甲基硅氧烷聚合物，固化后形成热弹性层。待热弹性层固化后去除玻璃衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 超声 薄膜 换能器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性光致超声薄膜换能器，其特征在于：所述的超声薄膜换能器包括柔性基底(120)、光吸收层(130)和热弹性层(140)；柔性基底(120)、光吸收层(130)、热弹性层(140)自下至上依次布置；所述柔性基底(120)为透明聚二甲基硅氧烷聚合物；所述光吸收层(130)为碳纳米管；所述热弹性层(140)为聚二甲基硅氧烷聚合物。
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