[发明专利]一种多晶硅铸锭炉

摘要

本发明公开了一种多晶硅铸锭炉，包括炉体、隔热笼、隔热底板、隔热顶板、侧加热器、坩埚和热交换台，炉体内底壁上设有石墨立柱，隔热底板支撑于石墨立柱上，炉体内顶壁设有铜电极，隔热顶板悬挂于铜电极上，隔热笼设于隔热底板与隔热顶板之间，且三者形成加热腔室，石墨立柱顶端穿过隔热底板位于加热腔室内，热交换台安装于石墨立柱顶端，坩埚位于热交换台上，侧加热器位于坩埚的侧壁外，两端分别通过角接器安装在铜电极上，角接器沿竖直方向设有至少两列安装孔，安装孔用于安装侧加热器，每列安装孔从上至少设置多个以使侧部加热器的高度可调节。本发明具有侧部加热器可以沿着铸锭炉内坩埚的高度方向调节，可满足全熔和半熔铸锭工艺切换的优点。