[发明专利]一种延长制程等待时间的后制程方法有效

专利信息
申请号: 201811119935.6 申请日: 2018-09-25
公开(公告)号: CN110943014B 公开(公告)日: 2023-04-14
发明(设计)人: 请求不公布姓名 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/677
代理公司: 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 代理人: 李冬梅
地址: 230601 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明涉及半导体生产领域,公开了一种延长制程等待时间的后制程方法,包括:提供晶圆传送盒,多个晶圆放置入晶圆传送盒中,晶圆传送盒设置有出气孔和进气孔;晶圆传送盒由输送设备传输连接至清洁设备,清洁设备内设置有抽气泵和氮气填充装置,当晶圆传送盒由传输状态至连接定位状态,抽气泵与出气孔连接,用于对晶圆传送盒内部进行抽气,并且氮气填充装置与进气孔连接,用于向盒体的内部填充氮气;打开连通晶圆传送盒的抽气泵对晶圆传送盒的内部进行抽气,以第一次降低晶圆传送盒内气体污染物的浓度;紧接在抽气步骤后,打开连通晶圆传送盒的氮气填充装置向晶圆传送盒的内部填充氮气,以第二次降低晶圆传送盒内气体污染物的浓度。
搜索关键词: 一种 延长 等待时间 后制程 方法
【主权项】:
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