[发明专利]太阳能单晶硅棒细线化切割方法

摘要

本发明公开了一种太阳能单晶硅棒细线化切割方法，采用多线切割的工艺进行单晶硅棒切割，金刚线切割走线方式采用大新线正向切割与大旧线反向切割相结合的工艺；采用进刀线速度低、中间部位切割速度高的切割工艺。本发明主要效果体现是：采用大新线工艺正向切割，大返线旧线切割，改善了因金刚线磨损较大，造成不良品；改善了金刚线单段磨损程度不均一问题，使得金刚线利用率提高，降低单片金刚线耗线量；采用进刀线速度低，增加了硅棒与钢线磨损程度均一化，改善了进刀位置TTV值偏大现象，提高了A级硅片成品率。

主权项

1.一种太阳能单晶硅棒细线化切割方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：对单晶硅棒进行粘接处理，将其固定至切割设备的工装上；S2：对粘接后的单晶硅棒进行的表面卫生粗处理；S3：对表面卫生粗处理后的单晶硅棒进行上机修正线网对刀，并在线网与单晶硅棒之间安装第一辅助装置，形成硅棒待切割状态；S4：将碱性溶液和纯水形成的稀释液通入第一辅助装置内，由第一辅助装置喷射出，且喷射点为线网与单晶硅棒的交点的切点；并使喷射的稀释液完全覆盖裸露切割状态下的线网；S5：对单晶硅棒进行切割形成单晶硅片，其中，切割包括低速进刀切割与高速出刀切割，其中低速进刀切割对应的线网为进线，高速出刀切割对应的线网为出线；当所述低速进刀切割的进线达到一预定量时，由所述高速出刀切割至切割结束；且所述进线与所述出线的转换过程存在方向差异，以自动转换；S6：对形成的单晶硅片进行脱胶预处理；S7：对单晶硅片进行脱胶。