[发明专利]一种基于MEMS机制的可调滤波器在审
| 申请号： | 201811122477.1 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN108919481A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 江涛;吴利敏;朱华 | 申请（专利权）人： | 黄石晨信光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B5/20 |
| 代理公司： | 黄石市三益专利商标事务所 42109 | 代理人： | 沈军 |
| 地址： | 435000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS机制的可调滤波器，具有密封的盒体，在盒体的侧壁A上设有光源入口，在盒体的侧壁B上装有光电转换器，并在光电转换器的光源输入端装有球形透镜；在盒体的侧壁C上设有MEMS反射镜，MEMS反射镜由MEMS微电机驱动进行左右转向，在MEMS反射镜上镀有反射膜；在盒体内装设有零膨胀玻璃块，零膨胀玻璃块上装有滤光片，滤光片的正、反面依次与MEMS反射镜、球形透镜相对应，并在滤光片的正、反面对应镀有反射膜和增透膜；本发明体积小、结构紧凑、耦合方便，通过采用MEMS驱动介质膜滤波中入射角的改变，实现了精准地输出波长控制与多波长的扩展，并且调谐速度快，响应速度得到大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 盒体 滤光片 侧壁 光电转换器 可调滤波器 球形透镜 反射膜 调谐 输出波长控制 光源输入端 微电机驱动 光源入口 膨胀玻璃 驱动介质 耦合 玻璃块 多波长 零膨胀 入射角 体积小 增透膜 滤波 装设 密封 体内 响应 | ||
【主权项】：
1.一种基于MEMS机制的可调滤波器，具有密封的盒体，盒体设有两个垂直连接的侧壁A、侧壁B和一个倾斜布置的侧壁C，侧壁C与侧壁A、B均互呈锐角布置；其特征是：在侧壁A上设有光源入口，在侧壁B上装有光电转换器，并在光电转换器的光源输入端装有球形透镜；在侧壁C上设有MEMS反射镜，MEMS反射镜由MEMS微电机驱动进行左右转向，在MEMS反射镜上镀有反射膜；在盒体内装设有零膨胀玻璃块，零膨胀玻璃块上装有滤光片，滤光片的正、反面依次与MEMS反射镜、球形透镜相对应，并在滤光片的正、反面对应镀有反射膜和增透膜。
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