[发明专利]多托盘压载抽蒸气系统

摘要

本发明涉及多托盘压载抽蒸气系统。具体而言，一种用于供应汽化前体的系统包括外壳，该外壳包括输出端。多个托盘以堆叠的间隔配置被设置在所述外壳内侧。所述多个托盘被配置成容纳液态前体。第一导管使载气供应源流体地连接至所述外壳并且包括多个开口。第一阀门被沿着所述第一导管设置并且被配置成选择性地控制从所述载气供应源通过所述第一导管输送所述载气到所述第一导管的多个开口。所述多个开口被配置成分别引导所述载气经过所述多个托盘中的液态前体。所述外壳的所述输出端提供所述载气与所述汽化前体的混合物。

主权项

1.一种用于供应汽化前体的系统，该系统包括：外壳，其包括输出端；多个托盘，其以堆叠的间隔的配置设置在所述外壳内侧；第一导管，其将载气流体供应到所述外壳；第二导管，其包括至少一个开口并且将液体前体供应到所述多个托盘中的一个或多个，其中所述多个托盘构造成保持所述液体前体，其中，(i)所述多个托盘中的每个托盘的端部中的至少一个包括一个或多个孔，所述液体前体的一部分通过所述孔排放到下一个低处的托盘，或者(ii)所述第二导管包括第一多个开口，其被布置成分别将部分所述液体前体供应到所述多个托盘，并且其中所述第一多个开口包括所述至少一个开口；第一阀门，其沿着所述第一导管布置，并且被构造成选择性地控制从载气供应源通过所述第一导管输送所述载气；和第二阀门，其沿所述第二导管布置，并且被构造成选择性地控制从液体前体源通过所述第二导管中的所述至少一个开口输送所述液体前体到所述多个托盘中的所述至少一个，其中所述外壳的所述输出端提供所述载气和所述汽化前体的混合物。