[发明专利]多铁隧道结忆阻器及其制作方法在审
| 申请号： | 201811123111.6 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109346599A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 黄伟川;罗振;殷月伟;李晓光 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李婷婷;王宝筠 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开一种多铁隧道结忆阻器及其制作方法，所述多铁隧道结忆阻器包括衬底以及在其上进行堆叠的第一电极、势垒层、第二电极和第一接触电极，其中，第一电极为条状电极，第一接触电极为带状电极，第一接触电极的延伸方向与第一电极的延伸方向垂直，构成crossbar结构；所述势垒层为铁电材料，所述第一电极和第二电极是铁磁材料，铁电材料和铁磁材料形成多铁隧道结。本申请提供的多铁隧道结忆阻器不仅具有忆阻特性，而且由于多铁隧道结中有磁电耦合效应，通过改变第二电极和第一电极的磁矩相对取向，可以调制铁电翻转动力学行为及相关的忆阻塑性特征，使得多铁隧道结忆阻器还具有塑性特征可调的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 隧道结 忆阻器 第一电极 第二电极 接触电极 塑性特征 铁磁材料 铁电材料 势垒层 磁电耦合效应 动力学行为 带状电极 方向垂直 条状电极 可调的 翻转 延伸 衬底 磁矩 调制 堆叠 取向 铁电 制作 申请 | ||
【主权项】：
1.一种多铁隧道结忆阻器，其特征在于，包括：衬底；位于所述衬底上的第一电极，所述第一电极为条状电极；位于所述第一电极上的势垒层，所述势垒层覆盖所述第一电极的中间部分，并暴露出所述第一电极的端部；位于所述势垒层上的第二电极；与所述第二电极电性接触的第一接触电极，所述第一接触电极为带状电极，所述第一接触电极的延伸方向与所述第一电极的延伸方向相互垂直，形成交叉结构；其中，第一电极和第二电极均为铁磁材质，所述势垒层为铁电材质。
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